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iTomic HiK系列原子层沉积镀膜系统

    iTomic HiK系列原子层沉积镀膜系统,适用于先进制程高介电常数介质(High-k)栅氧层、MIM电容器绝缘层、TSV介质层等薄膜工艺需求;HiK ALD系列设备凭借原子级别的精确控制、高覆盖率薄膜沉积和极高的工艺均匀性等优势,可为先进逻辑芯片、存储芯片以及先进封装制程提供介质层等关键工艺解决方案。相关技术和设备指标达到国内一流、国际先进水平

    1、可兼容812英寸单片热ALD量产工艺;

    2、采用原创设计的反应腔、源输送系统以及精确控温方案,可满足优异的薄膜均匀性和重复性需求,更适合三维和高深宽比器件结构内的薄膜生长;

    3、薄膜材料:Al2O3HfO2ZrO2SiO2La2O3Ta2O5TiO2ZnOCeO2等;

    4、配置多至4种独立的高温前驱体输送系统,满足多元掺杂工艺需求;

    5、设备通过28nm量产工艺需求验证,并具有向更先进技术节点工艺的拓展能力。


     



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