江苏微导纳米装备科技有限公司




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微导纳米入选国家科技部“创新积分500强”企业


日前,国家科技部火炬中心公布了企业创新积分制首批试点高新区创新积分500”企业名单,其中位于无锡高新区的江苏微导纳米科技股份有限公司(以下简称微导纳米)凭借强劲的研发能力、出色的成长潜力脱颖而出,最终入选成长期企业名单。


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微导纳米成立于2015年底,公司以原子层沉积(ALD)技术为核心,专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用,业务涵盖集成电路、光伏、LEDMEMS等半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域。短短六年多,微导纳米已从一家初创企业,发展成为国家专精特新小巨人企业、独角兽企业

 

 


iTomic Hik系列原子层沉积镀膜系统

作为国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司,微导纳米的ALD设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平,并已获得客户重复订单认可,填补了我国在该项半导体设备上的空白。公司也是国内少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上ALD技术问题的设备厂商之一,具备承担下一代光伏电池设备和高端先进制程半导体设备项目的技术储备和人才基础。在国家战略的引导下、地方政策的支持下,微导纳米将持续深化自主创新,不断提高设备的技术水平和产品的竞争力,力争成为世界级的智能装备领军企业,推动高端技术装备的国产化、产业化。


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