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官宣!微导纳米正式进军先进化合物半导体ALD设备领域


近日,微导纳米为国内某化合物半导体制造标杆企业定制的先进ALD装备成功发货,设备各项性能指标达到国际同行业标准,这标志着微导纳米率先迈出国产ALD装备进军先进化合物半导体微纳器件制造市场的坚实步伐





目前,先进化合物半导体以碳化硅、氮化镓为代表,其应用已延伸至5G基建、新能源汽车等多个关键领域,迅速成为下一代半导体技术的战略发展方向之一。在市场规模日渐扩大的情况下,先进化合物半导体微纳制造技术不断迭代更新,全球市场对ALD技术的需求也愈发显著。

 

微导纳米凭借丰富的自主研发经验、先进的材料和工艺开发能力,其ALD设备在技术先进性及量产性能等方面均达到国际水平 ,赢得了客户认可。此次微导纳米创新开发的专用于微纳制造的先进ALD装备,具备传统薄膜沉积技术难以企及的原子级厚度精准控制、优异的薄膜厚度均匀性以及高保形性等多项技术优势,将加快先进微纳器件制造所必需的材料和工艺的技术突破,助力全球化合物半导体产业技术的革新。




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