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微导ALD设备研发入选2016年江苏省重点研发计划项目
所属栏目:新闻发布  日期:2016-09-29 11:00:00 点击次数:
经过严格的的评选,江苏微导纳米装备科技有限公司的《基于原子层沉积(ALD)技术的微纳器件制造关键技术研发》项目,入选“2016年江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术)项目”。

微导正在开展的原子层沉积(ALD)设备具有产业前瞻性,产品技术性能达到国际领先水平,打破国外垄断,填补了国内高性能微纳器件制造技术空白,降低国内微纳器件制造商的投资成本,加快微纳器件快速产业化发展。

同时,ALD关键技术的成功攻关,将促进多个工业领域包括半导体,CMOS图像传感器,LED,MEMS,显示器,光伏和锂离子电池的产业化发展,为社会提供大量工作岗位,提升社会就业率,为民增收。同时提升我国在纳米材料及器件行业的国际地位,形成高附加值原子层沉积工艺设备产业集群,并对推动我国纳米材料及器件制造水平快速发展具有重要意义。

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