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微导ALD技术助力量产高效太阳能电池转换效率超越23%
所属栏目:新闻发布  日期:2020-05-30 15:00:00 点击次数:

近日,江苏微导纳米科技股份有限公司从全球知名高效太阳能电池制造龙头企业获悉,双方合作的基于原子层沉积(ALD)技术PERC电池产线取得突破性进展: 微导超高产能夸父系列设备生产的超薄(~3nmALD氧化铝背钝化新工艺,与前后道新颖工艺技术完美搭配,将产线电池平均效率提升至22.85%,同时,标准产线单班最高产能达五十三万片以上,单班A级率超过99%ALD背钝化设备稼动率高达99%,明显优于相同生产条件下的等离子辅助化学气相沉积(PECVD)技术。

 微导KF系列原子层沉积设备

微导夸父系列原子层沉积设备

围绕光伏电池生产降本与转换效率提升两大议题,需要对电池表面处理技术与钝化工艺及产能不断进行优化。随着工艺流程、材料和电池结构的不断创新,可实现超高表面钝化的镀膜技术是支撑后PERC时代电池效率的持续攀升的关键。ALD技术可在不同表面结构上获得完美的保形性,且材料选择具有多样性,对新型电池技术具有极好的适应性。可以预期,基于微导ALD背钝化技术的PERC电池量产效率很快将会突破23%,使现阶段主流的高效电池技术具有持续的市场竞争优势。

 

微导祝融系列PEALD设备

2019年在全球市场首次推出批量型PEALD技术,微导创新二合一”PEALD镀膜设备为当前主流PERC电池提供了高效的背钝化和盖膜一体化背膜生产,仅在调试阶段就已展现出优良的电池效率表现,现已在客户端完成PERC电池验证并全面进入量产阶段。尤其是在当前电池片逐渐转向大尺寸时代,微导ALD技术更显现出天生优势——大尺寸衬底上依然可保持原子层级薄膜厚度和镀膜均匀性。更为重要的是,微导PEALD技术不仅可以保持现有热ALD材料的钝化效果和技术优势,又为下一代电池隧穿氧化和接触钝化工艺提供了解决方案,成为当前光伏市场可采用PEALD技术同时实现TOPCon结构的关键工艺设备。通过微导PEALD技术制备的隧穿氧化层,片内、片间和批间均匀性均优异(<3%, 隧穿层厚度可精确控制在1-2纳米,同时多晶硅层(Poly-Si)无绕镀并可实现原位磷掺杂。


因此,微导PEALD设备将极大简化下一代高效电池的生产流程,有效降低生产成本。就在不久前,在客户与微导的共同努力下,成功实现了基于ALD技术的“TOPCon”电池转换效率23.5%的可喜成果,成为微导技术创新的又一个里程碑。

 

正如产业权威人士近期所述,光伏产业从“传统扩充降本的竞争模式已转向技术制胜的博弈”。微导近年来引领光伏高效电池关键装备和工艺技术不断创新,通过与广大客户量产合作不断取得行业影响的结果表明,微导ALD技术仍将持续助力量产高效太阳能电池转换效率超越23%,并成为后PERC时代高效光伏电池的关键技术。


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