江苏微导纳米装备科技有限公司

捷报频传丨微导再获通威太阳能订单 新制造基地今日正式开工
所属栏目:新闻发布  日期:2018-07-30 10:07:00 点击次数:

隶属先导集团下的江苏微导纳米装备科技有限公司近日获得光伏电池行业标杆企业——通威太阳能的新一批订单,为其新增6GW产能提供全部基于微导原子层沉积钝化技术的高效PERC电池钝化装备。至此,微导在短短两年内为全球光伏市场提供了近20GW的高效电池量产设备,在单晶PERC工艺建立了一条微导专利技术的标准工艺路线。

 

微导自主知识产权的ALD钝化装备和技术跨越式突破了传统工艺路线瓶颈,奠定了当前国际尖端的高效光伏电池生产装备技术的领导地位,成为“后531时代”高效电池生产最优选择。

 

微导的夸父系列原子层沉积钝化设备以其技术和性能在众多电池生产厂全面实现量产,是当前在全球已量产光伏电池钝化设备以及ALD技术领域中产能达(>6500/小时),容量达(1600/批),稼动率(可达99%)的全自动智能化生产设备,可在PERCPERTPERL等不同电池技术通用,同时兼容下一代电池薄片和大片。

 

微导ALD技术在过去两年中在国内外高效电池大批量生产中创造了众多领先成果,其中在N-PERT电池生产中是得到量产认证的技术,在无叠加技术的标准P-PERC电池的量产已率先达到已达21.8%的转换效率,MWT电池技术中,转换效率更是达到22.2%,同时下一代电池技术的研发结果已超过24%,微导ALD技术的普适性和技术延续性为光伏电池技术的发展提供了坚实的保障。

 

 微导夸父系列原子层沉积镀膜设备

微导首席技术官黎微明博士表示:“在多家客户的PERC电池量产结果显示,微导钝化技术比现有PECVD钝化技术转换效率高出0.1%以上,通过技术叠加可突破22%,并有进一步提升空间,同时长期效率分布缩窄近20%,良品率方面可达98%以上,各项关键量产指标均具有明显优势,量产稳定性高,使用和维护成本大幅降低,大大降低了生产成本。我们客户在本次重大扩产项目中全部选择微导技术,为光伏高效电池确立了新的技术路线,是全球光伏产业的一次变革,意义十分重大”。

 

董事长王燕清先生同时指出,在531新政推出后,微导技术路线以其显著的使用和运营成本优势首当其冲,为光伏电池企业实现技术升级的同时降低生产成本发挥了关键作用,成为高效晶硅电池生产的最优选择。“感谢客户对我们技术的信任,能和客户一起共同努力为光伏发电早日实现平价上网而努力我们感到很自豪和骄傲。”

 

今天是个双喜临门的好日子,除了微导获得新订单,先导集团总部大楼及半导体和燃料电池装备制造基地奠基仪式也隆重举行。江苏省委常委、无锡市委书记李小敏出席了奠基仪式。

 

半导体装备制造基地

新基地占地约13万平方米,规划新建总部大楼1幢、厂房4幢。项目总投资约50亿元,分两期建设,一期为基于原子层沉积(ALD)技术的半导体装备,新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化。

年产200台基于原子层沉积(ALD)技术的半导体装备项目依托于先导集团旗下的江苏微导纳米装备科技有限公司,主要开发具有自主知识产权的多款原子层沉积装备、相关半导体工艺及自动化成套装备,有望打破国外进口装备的垄断,实现该技术装备的国产化。

项目总投资15亿元,计划建立一个国家级企业技术中心,用于半导体、新能源、传感器、柔性电子材料以及纳米材料等尖端领域的研发和产业化,预计申请国内外专利30项以上。项目投产后,预计实现年销售额15亿元以上、利税总额4亿元。

半导体产业属于“高度资本密集+高度技术密集”的大产业,是全球大国的“必争之地”,无锡作为中国集成电路产业的龙头城市,以半导体为代表的“高精尖”产业正在快速崛起。先导集团作为国产高端装备的典范,将努力推动无锡“设计-制造-封装测试-材料及配套装备”半导体产业链加速健全。

该项目的开工标志着先导集团正式进军半导体装备产业。目前先导集团旗下的微导公司正在研发半导体核心装备——ALD原子层沉积装备,今后将有望打破国外进口装备的垄断地位。更值得一提的是,先导集团已经与中科院微电子所达成了战略合作,未来将在半导体核心装备解决方案上实现重大突破,研制出新的定制化、差异化装备和完整的工艺解决方案。

 

用于300mm晶圆尖端半导体生产的麒麟系列ALD设备

 

新制造基地未来将专用于新能源、半导体等尖端领域新产品的研发和产业化。相信微导会再接再厉,快速实现尖端技术和设备的国产化的新突破。

江苏微导纳米装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商,专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。致力于通过尖端技术和不断创新促成客户的先进产品和市场先机。


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