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实验室


1、具有标准的半导体级百级洁净间,千级,万级超净间,拥有安全可靠的特气供应系统,配备完善的安全报警装置;

2、具备半导体28nm及以下先进制程节点工艺开发能力;

3、具备光伏TOPCon, HJT等关键技术节点工艺开发能力;

    可针对泛半导体,柔性电子,新能源等市场领域,安排定制化的样品Demo,兼容多种个性化载具,拥有多种样品、批量样品制备能力; 

4、配备如膜厚仪、颗粒仪、应力仪、方阻仪、水氧阻隔测量设备等多种测量仪器,满足自身及不同领域客户工艺表征需求。

    核心量测设备: KLA SP3 颗粒仪、KLA F1膜厚仪 Napson自动四探针、 FSM128L薄膜应力仪、 ECVOlympus显微镜、Mocon水透仪等。

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