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LED和MEMS

微导高度优化的批量型ALD技术助力实现一个智能世界


节能照明和显示器、个人通讯设备、医疗保健和个人健康, 智能城市和物联网等等, 我们逐渐生活在一个由复杂智能系统连接起来的智能世界。多样化智能产品的应用与发展促使化合物半导体和MEMS产业正在经历快速增长,产业化生产需要大量更好的性能、更高的可靠性, 但又具有成本效益的产品。微导向各类集成电路芯片制造商和代工厂提供高效率单一晶圆和批量型ALD薄膜沉积解决方案,使产业化生产的化合物半导体和MEMS产品具有更好性能、更经济、可靠。





麒麟系列批量ALD薄膜系统

微导麒麟系列批量ALD薄膜沉积系统专用于100, 150和200mm晶圆生产的批量ALD镀膜设备。 可作为独立机台使用,也可与主流商业自动化晶圆装载系统和团簇平台集群。自有专利设计的反应器可以沉积多种材料并确保极限保形和均匀的ALD薄膜沉积。麒麟系统高度通用,具有灵活性、高产能等特性和极底的使用成本。

可制备工艺:
氧化物:SiO2 , Al2O3 , HfO2 , ZrO2 , Ta2O5 , Nb2O5 , TiO2 , ZnO , SrTiO3
氮化物:TiN , Ta2N5 , AlN
单金属:Ru , Pt
温度范围:室温-500ºC 
晶圆尺寸:100, 150和200mm




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