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光伏

微导高效晶硅太阳能电池制造的解决方案


在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下, 微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比,微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级, 可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。微导光伏产品具有自有专利技术, 并能与集团先进的经过多年产业化验证的自动化系统高度无缝集成, 为高效太阳能电池的制造提供完整的解决方案。微导为光伏电池生产提供技术先进、使用成本低的产业化系统。




夸父系列原子层沉积镀膜系统

微导的夸父系列工业批量型原子层沉积(ALD)系统采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的薄膜沉积技术, 确保为晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄三氧化二铝钝化膜。微导全自动高级夸父系列ALD系统为光伏产业化高效电池提供超高产能的同时, 可降低设备的运营成本,为客户提供可靠的量产解决方案。




工艺材料
工艺温度
薄膜厚度均匀度
产能
运行率
破片率
维护周期
技术参数
Al2O3
SiO2, 可选
150-300(
片内:≤1%
片与片:≤2%
批与批:≤2%
4000
(片/小时,10 nm)
≥96%
≤0.1%
>6月


后羿系列板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统

微导HY4000系统结合了空间CVD和ALD技术和专有的上下料自动化可进行自动在线三氧化二铝薄膜钝化层工艺。专用于大批量生产单面钝化层,后羿系统可提供高质量的钝化膜和低生产成本。与“黑硅”技术相结合, 微导为进一步增强PERC电池为基础的太阳能电池的转换效率提供了解决方案。




工艺材料
工艺温度
薄膜厚度均匀度
产能
运行率
破片率
维护周期(天)
技术参数
Al2O3 150 - 300  (℃) 片内: ≤3%
片与片: ≤3%
批与批: ≤3%
4000 (片/小时,10 nm) ≥95%
≤0.1%
20天

WR系列RIE“黑硅”系统


微导WR5400反应离子刻蚀(RIE)系统具有全自动在线RIE“黑硅”工艺处理功能以及专有上下料配套设备,是微导创新的设计结合高性能等离子体系统,使产品具有工艺腔体高度防腐、高产能(最高可达5400片/小时)和维护周期长(> 30天)等特点。搭配金刚线切割技术可为多晶光伏电池提供既降低成本又提升效率的绝佳方案。微导RIE黑硅与背钝化技术的结合,为多晶光伏PERC电池效率突破20%的提供量产方案。




工艺材料
工艺温度
制绒后反射
产能
运行率
破片率
维护周期
技术参数
SF6, Cl2,O2  室温
≤10%
5400片/小时
≥95%
≤0.1%
>30天


客户化的解决方案




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